高效空氣過濾器本體在進(jìn)入現(xiàn)場(chǎng)前，生產(chǎn)廠家應(yīng)按規(guī)定進(jìn)行性能試驗(yàn)檢測(cè)（如DOP試驗(yàn)等），并提供合格證（含性能試驗(yàn)結(jié)果）。對(duì)于5級(jí)（100級(jí)）以上潔凈室用高效過濾器、超高效過濾器在現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)再次進(jìn)行高效過濾器本體的性能檢測(cè)。同時(shí)也要為確認(rèn)高效過濾器的正確安裝狀態(tài)進(jìn)行泄漏試驗(yàn)。而在深圳傳遞窗大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的超潔凈技術(shù)中（如O.lUm，1級(jí)），由于新風(fēng)量往往僅是循環(huán)風(fēng)量的百分之幾，經(jīng)過稀釋上風(fēng)側(cè)也變成6級(jí)（1 000級(jí)）的程度，因此，在這種情況下，就必須重新考慮采用DOP檢漏試驗(yàn)。

(1)高效空氣過濾器檢測(cè)要求

①一般采用粒子計(jì)數(shù)器法進(jìn)行檢漏，被檢高效過濾器必須已檢測(cè)過風(fēng)量，并在設(shè)計(jì)風(fēng)速的80%—120%之間運(yùn)行。

②對(duì)于被檢高效過濾器上風(fēng)側(cè)的微粒濃度符合如下要求。

·對(duì)受控粒徑≥0.5pm的濃度，必須大于等于3.5×104pc/L；

·對(duì)受控粒徑≥0. 1lim的濃度，必須大于等于3.5×106～3.5×107pc/L。

(2)高效空氣過濾器檢測(cè)方法

高效空氣過濾器檢測(cè)方法及評(píng)定標(biāo)準(zhǔn),采用掃描法對(duì)高效過濾器安裝接縫和主斷面進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)距被測(cè)表面20～30mm，測(cè)頭以5～20mm/s的速度移動(dòng)，對(duì)被檢過濾器整個(gè)斷面、封膠頭和安裝框架處進(jìn)行掃描。粒子計(jì)數(shù)器的最小采樣量大于1L/min[3]。來源：www.waicaiquan.com

(3)高效空氣過濾器檢測(cè)設(shè)備

①光散射粒子計(jì)數(shù)器，其工作原理是利用空氣中的微粒對(duì)光線的散射現(xiàn)象，將采樣空氣中的微粒的光脈沖信號(hào)轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的電脈沖信號(hào)來測(cè)定微粒的顆粒數(shù)，利用微粒的光散射強(qiáng)度與微粒粒徑的平方成正比的關(guān)系，測(cè)量微粒粒徑大小。傳遞窗配件光散射粒子計(jì)數(shù)器的工作原理見圖9-2，儀器一般由氣路系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)、電路系統(tǒng)和電源等部分組成‘4]。國產(chǎn)的Y09等系列粒子計(jì)數(shù)器，進(jìn)口的Royco-245粒子計(jì)數(shù)器均屬于此類粒子計(jì)數(shù)器。

②激光粒子計(jì)數(shù)器，其工作原理與光散射粒子計(jì)數(shù)器基本相同，但因采用了比光散射粒子計(jì)數(shù)器強(qiáng)100倍的氦一氖激光光源，所以微粒粒徑的檢測(cè)范圍達(dá)O.lym。圖9-3是該類計(jì)數(shù)器光學(xué)系統(tǒng)簡(jiǎn)圖。

③凝聚核粒子計(jì)數(shù)器，它是利用飽和蒸汽讓微小粒子凝聚為大粒徑微粒子，進(jìn)行微粒粒子濃度測(cè)定，圖9-4是凝聚核計(jì)數(shù)器工作原理簡(jiǎn)圖。采樣空氣中的微粒，經(jīng)過溫度為35℃的飽和管，然后在溫度為10℃的凝聚管內(nèi)由媒介液進(jìn)行凝聚，直至增大到能夠檢測(cè)到散射光的粒徑為止，其他部分與一般光散射粒子計(jì)數(shù)器相同。

(4)高效空氣過濾器合格標(biāo)準(zhǔn)

在《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》中規(guī)定，由高效過濾器下風(fēng)側(cè)泄漏濃度換算成的穿透率來衡量是否合格，其合格標(biāo)準(zhǔn)如下。

對(duì)高效空氣過濾器： K'= C2×100%≤2K (9-1)

對(duì)高效空氣過濾器： K'= 02×100%≤3K (9-2)Cl式中K-高效過濾器出廠時(shí)檢測(cè)合格的透過率；

K 7——高效空氣過濾器的泄漏濃度換算成的透過率；

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